ZyvexLitho1 是一款基于掃描隧道顯微鏡 (STM:Scanning Tunneling Microscopy) 儀器,Zyvex Labs 自 2007 年以來一直在改進該儀器。ZyvexLitho1 包含許多商業掃描隧道顯微鏡所不具備的自動化特性和功能。
這款能制造0.7nm芯片的先進工藝的誕生,它的應用市場在哪里?援引Michelle Simmons 教授表示,“我們對 ZyvexLitho1 感到興奮,這是第一個提供原子精度圖案化的商用工具。構建可擴展的量子計算機存在許多挑戰,我們堅信要實現量子計算的全部潛力,需要高精度制造。”
STM 光刻技術的發明者 Joe Lyding 教授表示:“迄今為止,Zyvex Labs 技術是這種原子級精確光刻技術的最先進和唯一的商業化實現。” Lyding 是 2014 年費曼獎獲得者,也是伊利諾伊大學電氣與計算機工程專業的 Robert C. MacClinchie 特聘教授。
Zyvex 表示,ZyvexLitho1 中嵌入的是我們的 ZyVector,這種具有低噪聲和低延遲的 20 位數字控制系統使我們的用戶能夠為固態量子器件和其他納米器件和材料制作原子級精確的圖案,完整的 ZyvexLitho1 系統還包括配置用于制造量子器件的 ScientaOmicron 超高真空 STM。
“我期待繼續與 Zyvex 進行富有成效的合作,”ScientaOmicron 產品經理 SPM Andreas Bettac 博士評論道。“在這里,我們將最新的 UHV 系統設計和 ScientaOmicron 久經考驗且成熟的 SPM 與 Zyvex 用于基于 STM 的光刻的專用高精度 STM 控制器相結合。”
Zyvex Labs在官網中也表示,該系統能夠使原子精密光刻成為現實,當中用于 STM 光刻的 UHV 系統 、前體氣體計量和 Si MBE 、數字矢量光刻和自動化和腳本。他們表示,如果沒有亞納米分辨率和精度,這種 7.7 納米(10 像素)正方形的曝光是不可能的。

2001 年,Zyvex Corporation 獲得了美國國家標準與技術研究院先進技術計劃 (NIST ATP) 頒發的一項重要研究獎。納米技術應用和制造的組裝商:開啟納米技術時代(程序 ID 70NANB1H3021)是與霍尼韋爾和幾所支持微機電系統 (MEMS) 開發、納米探測、納米操作和其他基礎納米技術工作的大學共同承擔成本的五年聯合計劃。
2003 年和 2004 年,Zyvex 公司獲得了 DARPA 頒發的小型企業創新研究 (SBIR) 獎,以開發 mini-SEM。小型掃描電子顯微鏡(程序 ID DAAH01-03-C-R217)和用于生產低成本迷你 SEM 的制造組裝技術(程序 ID W31P4Q-04-C-R289)支持開發此處所示工作的電子光學部分。
2004 年,Zyvex 公司收到了能源部的另一份 SBIR。用于透射電子顯微鏡的 MEMS 納米探針(程序 ID DE-FG 0204ER84130)專注于開發用于透射電子顯微鏡 (TEM) 的基于 MEMS 的納米操縱器。該計劃的結果間接導致了該公司 MEMS 精細定位階段的改進。
2007 年 4 月,Zyvex Corporation 重組為三個獨立的公司,以確保持續專注于產品:Zyvex Performance Materials LLC、Zyvex Instruments LLC 和 Zyvex Labs LLC。資產在三個公司之間分配,并為材料和儀器業務聘請了專門的管理人員。
Zyvex Labs 有兩個目標:1) 開發 APM;2) 開發微細加工和 3D 微組裝技術。該公司的 MEMS 技術是在 Zyvex 為期 5 年、耗資 2500 萬美元的 NIST ATP 項目期間開發的,目前正用于制造微型科學儀器,例如微型掃描電子顯微鏡和微型原子力顯微鏡,以及下一代納米探測系統。